Sensoren -

MEMS-Inertialsensoren zur Bauwerksüberwachung

First Sensor bringt kapazitive Siliziuminertialsensoren mit hoher Präzision auf den Markt. Die einkristallinen Siliziummikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis (HARMS) gewährleisten geringe Querempfindlichkeiten, große Signal-Rausch-Abstände und eine hohe Temperaturstabilität. Die patentierte AIM-Technologie (Air-Gap Insulated Microstructures) verringert parasitäre Kapazitäten. Es können Neigungen von ±30° mit einer Rauschdichte kleiner als 0,0004 °/√Hz und Auflösungen kleiner als 0,0015° bei einer Messfrequenz von 10 Hz gemessen werden. Die MEMS erreichen als Beschleunigungssensoren im Messbereich von ±3, ±8 oder ±15 g eine Rauschdichte kleiner als 30 µg/√Hz und Auflösungen kleiner als 40 bis 95 µg bei 10 Hz.

Sie eignen sich, um Vibrationen und Neigungsänderungen an Windkraftwerken, Brücken oder Hochhäusern zu erfassen und so Mängel in der Statik oder Substanz zu erkennen. Neben Standardmodellen werden auch mechanisch und elektrisch angepasste Module angeboten. Zur Unterstützung von Entwicklern stehen Evaluierungskits zur Verfügung.

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