Winzige Drucksensor-Dies

Bild: Epcos
Der miniaturisierte Drucksensor-Die wird für Absolutdrücke bis 10 bar angeboten

TDK hat neue MEMS-Drucksensoren von Epcos vorgestellt. Die Automotive-Typen der Serie C33 haben Abmessungen von lediglich 1 mm x 1 mm x 0,4 mm und sind damit laut Hersteller die kleinsten ihrer Art.

Sie sind für Absolutdrücke von 1,2 bis 10 bar ausgelegt und in Anlehnung an AEC-Q101 qualifiziert. Ihre typische Betriebsspannung liegt bei 3 V. Die Sensor-Dies bieten je nach Typ Empfindlichkeiten zwischen 15 und 80 mV/bar, weisen eine Langzeitstabilität von ±0,35 % FS auf und arbeiten im Temperaturbereich von -40 bis +135 °C (kurzzeitig bis +140 °C).

Für IoT- oder Konsumanwendungen wird der Typ C39 mit einem Footprint von 0,65 mm x 0,65 mm und nur 0,24 mm Bauhöhe angeboten. Er ist für einen Absolutdruck von 1,2 bar ausgelegt, die Langzeitstabilität beträgt ebenfalls ±0,35 % FS. Alle Drucksensor-Dies basieren auf dem piezoresistiven Prinzip und liefern über eine Wheatstone-Brücke ein analoges Signal, das proportional zum Druck und zur Versorgungsspannung ist.

- von dar
 
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